ИССЛЕДОВАНИЕ ЭКСПЛУАТАЦИОННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ УПРОЧНЯЮЩИХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ КРЕМНИЙСОДЕРЖАЩИХ ПОКРЫТИЙ, ОСАЖДАЕМЫХ ИЗ ДУГОВОЙ ПЛАЗМЫ ПРИ АТМОСФЕРНОМ ДАВЛЕНИИ - Голозубов, Андрей Леонидович (Вестник Брестского государственного технического университета, 2025)
Упрочнение металлических поверхностей нанесением тонкопленочных кремний содержащих покрытий, осаждаемых из дуговой плазмы при атмосферном давлении, позволяет защитить их от износа и действия агрессивных сред и в конечном счете определяется эксплуатационными характеристиками таких покрытий. Одной из основных эксплуатационных характеристик упрочняющих защитных тонкопленочных покрытий является их толщина. Определение толщины тонких пленок непосредственным измерением представляет собой трудно разрешимую техническую задачу. В статье предлагается использование оптической интерференционной картины в системе подложка – тонкопленочное покрытие для определения его толщины. Данный подход позволяет определять и контролировать толщину покрытия не только на готовом изделии, но и непосредственно во время нанесения. Экспериментальное исследование толщины тонкопленочного кремний содержащего покрытия с помощью растрового электронного микроскопа показали, что толщина пленки находится в пределах 1,1–1,2 мкм. Сопоставление расчетных и экспериментальных данных о толщине упрочняющего покрытия дали высокую сходимость результатов (12–15 %). Возможность точного контроля толщины значительно расширяет область использования тонкопленочных, упрочняющих, кремнийсодержащих покрытий, наносимых из дуговой аргоновой плазмы при атмосферном давлении. Полученные в ходе теоретических и лабораторных исследований результаты были использованы в условиях реального производства на крупнейшем предприятии Республики Беларусь ОАО «Мозырский нефтеперерабатывающий завод». В условиях ремонтно-механического производства была внедрена авторская установка для нанесения тонкопленочных покрытий и технологический процесс нанесения коррозионно-стойких, тонкопленочных, кремнийсодержащих покрытий на детали, работающих в условиях неабразивного изнашивания и в контакте с агрессивными средами.