Вернуться к Подробностям о статье ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ УПРОЧНЯЮЩИХ ТОНКОПЛЁНОЧНЫХ КРЕМНИЙСОДЕРЖАЩИХ ПОКРЫТИЙ И КОМПОЗИЦИИ ПОКРЫТИЕ-ПОДЛОЖКА, РАБОТАЮЩИХ В УСЛОВИЯХ ВЫСОКИХ КОНТАКТНЫХ ДАВЛЕНИЙ Скачать Скачать PDF